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FE-1050系列 场发射扫描电子显微镜
FE-1050系列 场发射扫描电子显微镜

FE-1050系列高分辨(场发射)扫描电镜,配备新一代电子光学镜筒,具备优越电子光学性能,重点优化了低电压下高分辨力,实现1.5nm(1kV),可以轻松观测易受电子辐照损伤的样品。

品牌:钢研纳克 

产品介绍
01
产品简介

FE-1050系列高分辨(场发射)扫描电镜,配备新一代电子光学镜筒,具备优越电子光学性能,重点优化了低电压下高分辨力,实现1.5nm(1kV),可以轻松观测易受电子辐照损伤的样品。


02
产品亮点

  高分辨机型

高分辨场发射电子光学镜筒

分辨能力可达1.3nm@1kV,0.7nm@15kV

  多工作模式

大视野、大景深、高分辨、大束流等多种工作模式

  简单易上手

简单易懂的操作界面

新手也可以轻松驾驭的高性能场发射电镜


03
产品优势

  高亮度场发射电子枪技术

肖特基高亮度热场发射电子枪,最高可提供400nA落点电流,兼顾显微成像的分辨能力和物相分析的检测效率。

  “双物镜”技术

FE-1050T的物镜系统由两组可以独立控制的电磁透镜组成,使用时可以根居用户的观测需求自动调整物镜组合方式,轻松应对大视野、高景深、高分辨等多种观测场景。

  低真空技术

标配30Pa低真空,几乎所有不导电类样品都可以直接观测,无需做导电性夕理。

*可选配最高500Pa的仓室真空度

  成像图:

04
技术参数

型号FE-1050系列
1.电子光学系统
电子枪Schottky 场发射型
物镜类型非浸没电磁复合透镜
加速电压0.02-30KV
束斑电流10pA 至 30nA(100nA 选配)
放大倍数10x - 1,000, 000x
分辨率SE1.5nm(1KV)、0.9nm(15KV)
BSE(选配)2.5nm(1KV)、1.5nm(15KV)
STEM0.8nm(30KV)
2.真空系统
离子泵(IGP)25 L/s+2X20L/s
涡轮分子泵(TMP)250 L/s (N2)
前级真空泵15m³/h 机械泵、无油涡旋机械泵(选配)
电子枪真空<1.0x10-7 Pa
主样品室极限真空<1.0x10-4 Pa
样品室接口数27 个
预抽室50mm 样品托盘自动送样
4/6 英寸晶圆自动送样(选配)
预抽室光学导航
3.样品运动平台
样品台行程X140mm
Y140mm
Z60mm
R连续 360°
T-10°~80°
重复定位精度X/Y/Z≤1um(选配)
样品最大承重5kg
4.图像处理系统
最小驻留时间20ns
采集方式4 通道同步采集
最大图像分辨率24kx24k 像素
5.数据处理系统
CPUIntel Xeon E5 及以上处理器
内存32G
显卡显存≥24G,位宽≥384bit
显示器34 英寸超宽屏显示器
控制台人体工程学可升降操控台
6.探测器系统
检测器In-Column SE 探测器
ET- SE 探测器
插入式 BSE 探测器(选配)
STEM 探测器(选配)
红外 CCD 主腔室监控-3 路
附件(选配)斜插式能谱仪(EDS)
平插式能谱仪(Flat-EDS)
波谱仪(WDS)
电子背散射衍射仪(EBSD)
阴极荧光探测器(CL)
聚焦离子束(FIB)
原位拉伸加热台/制冷台
冷冻转移样品仓等第三方附件设备