FE-1050系列高分辨(场发射)扫描电镜,配备新一代电子光学镜筒,具备优越电子光学性能,重点优化了低电压下高分辨力,实现1.5nm(1kV),可以轻松观测易受电子辐照损伤的样品。
品牌:钢研纳克
FE-1050系列高分辨(场发射)扫描电镜,配备新一代电子光学镜筒,具备优越电子光学性能,重点优化了低电压下高分辨力,实现1.5nm(1kV),可以轻松观测易受电子辐照损伤的样品。
• 高分辨机型
高分辨场发射电子光学镜筒
分辨能力可达1.3nm@1kV,0.7nm@15kV
• 多工作模式
大视野、大景深、高分辨、大束流等多种工作模式
• 简单易上手
简单易懂的操作界面
新手也可以轻松驾驭的高性能场发射电镜
• 高亮度场发射电子枪技术
肖特基高亮度热场发射电子枪,最高可提供400nA落点电流,兼顾显微成像的分辨能力和物相分析的检测效率。
• “双物镜”技术
FE-1050T的物镜系统由两组可以独立控制的电磁透镜组成,使用时可以根居用户的观测需求自动调整物镜组合方式,轻松应对大视野、高景深、高分辨等多种观测场景。
• 低真空技术
标配30Pa低真空,几乎所有不导电类样品都可以直接观测,无需做导电性夕理。
*可选配最高500Pa的仓室真空度
• 成像图:

| 型号 | FE-1050系列 | |
| 1.电子光学系统 | ||
| 电子枪 | Schottky 场发射型 | |
| 物镜类型 | 非浸没电磁复合透镜 | |
| 加速电压 | 0.02-30KV | |
| 束斑电流 | 10pA 至 30nA(100nA 选配) | |
| 放大倍数 | 10x - 1,000, 000x | |
| 分辨率 | SE | 1.5nm(1KV)、0.9nm(15KV) |
| BSE(选配) | 2.5nm(1KV)、1.5nm(15KV) | |
| STEM | 0.8nm(30KV) | |
| 2.真空系统 | ||
| 离子泵(IGP) | 25 L/s+2X20L/s | |
| 涡轮分子泵(TMP) | 250 L/s (N2) | |
| 前级真空泵 | 15m³/h 机械泵、无油涡旋机械泵(选配) | |
| 电子枪真空 | <1.0x10-7 Pa | |
| 主样品室极限真空 | <1.0x10-4 Pa | |
| 样品室接口数 | 27 个 | |
| 预抽室 | 50mm 样品托盘自动送样 | |
| 4/6 英寸晶圆自动送样(选配) | ||
| 预抽室光学导航 | ||
| 3.样品运动平台 | ||
| 样品台行程 | X | 140mm |
| Y | 140mm | |
| Z | 60mm | |
| R | 连续 360° | |
| T | -10°~80° | |
| 重复定位精度 | X/Y/Z≤1um(选配) | |
| 样品最大承重 | 5kg | |
| 4.图像处理系统 | ||
| 最小驻留时间 | 20ns | |
| 采集方式 | 4 通道同步采集 | |
| 最大图像分辨率 | 24kx24k 像素 | |
| 5.数据处理系统 | ||
| CPU | Intel Xeon E5 及以上处理器 | |
| 内存 | 32G | |
| 显卡 | 显存≥24G,位宽≥384bit | |
| 显示器 | 34 英寸超宽屏显示器 | |
| 控制台 | 人体工程学可升降操控台 | |
| 6.探测器系统 | ||
| 检测器 | In-Column SE 探测器 | |
| ET- SE 探测器 | ||
| 插入式 BSE 探测器(选配) | ||
| STEM 探测器(选配) | ||
| 红外 CCD 主腔室监控-3 路 | ||
| 附件(选配) | 斜插式能谱仪(EDS) | |
| 平插式能谱仪(Flat-EDS) | ||
| 波谱仪(WDS) | ||
| 电子背散射衍射仪(EBSD) | ||
| 阴极荧光探测器(CL) | ||
| 聚焦离子束(FIB) | ||
| 原位拉伸加热台/制冷台 | ||
| 冷冻转移样品仓等第三方附件设备 | ||