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Solution
半导体行业
行业背景

国内晶圆制造、先进封测、第三代半导体及配套电子材料产业持续扩产,光刻㬵、电子特气、电镀药水、基板等关键材料加速国产替代。各制程对微量杂质、镀层、粉体、槽液的精密检测需求持续爆发,⾼端科学分析仪器国产替代空间巨大,为行业带来长期稳定增长机遇

和泽方案

公司紧跟产业趋势,积极提升团队相关领域的知识储备,学习各场景仪器检测标准,以顾问式销售方式,持续改善面向半导体上下游产业链的解决方案服务能力

HEZE INSTRUMENT

仪器及检验指标
瑞士万通

● 自动电位滴定仪测试光刻㬵树脂中微量酸含量、封测电镀槽液中的酸碱、氯离子及铜镍锡金属离子含量、高纯电子化学品的纯度品控

卡氏水分仪测试光刻㬵、清洗剂等含水量

离子色谱仪测试半导体材料端的微量阴离子含量及洁净⻋间的空气中微量杂质以及生产用水的品质检测

● CVS电镀液分析系统用于测试电镀槽液中抑制剂、光亮剂与整平剂三大关键组分的浓度
● 在线过程分析仪:应用于产线电镀槽液、清洗槽液中特定成分的实时监控

德国耐驰

DSC差热分析仪测试光刻㬵树脂材料及成品的玻璃化转变温度Tg、固化焓、结晶熔融、固化度、树脂相容性等

STA同步热分析仪测试环氧膜塑料、晶圆保护膜材料的热分解温度、水分、挥发分、残炭含量等

TMA热机械分析仪测试模塑料、载板、底部填充㬵CTE值、软化点及热收缩、蠕变等形变性能

奥地利安东帕

密度仪应用于高纯电子化学品、光刻㬵的品控检测

折光仪应用于材料溶液中的固含量测试

微波消解仪应用于快速消解电镀镀层、EMC封装塑料等,配套ICP/AAS检测微量金属杂质

● 在线密度仪及折光仪应用于电镀药水与清洗液浓度的实时连续监测

美国安捷伦

HPLC液相色谱仪应用于电镀液中有机添加剂含量的测试

AAS/ICP光谱仪用于镀液超痕量重⾦属杂质

美国赛默飞

● 红外光谱仪应用于官能团类型,改性材料结构分析

● 元素分析仪应用于卤素、碳填料、氮控量等分析


美国麦克

● XRF光谱仪应用于电镀槽液、超纯水、光刻㬵、CMP 抛光液中重⾦属杂质(Fe、Cu、Zn、Pb、Ni)快速筛查

● XRD光谱仪应用于镀锡、镀⾦、镍钯镀层晶粒尺寸、晶体取向、合金物相分析,另外可用于镀层失效分析


德国劳达

● 定制化有机合成反应釜系统搭配⾼精度温控系统,应用于光刻㬵关键原材料的合成研发


上海骇思

● 各型超纯水系统提供不同等级的出水品质,适配生产及实验室分析不同的应⽤场景,产品稳定可靠


长期合作客户

长电科技

多维科技

强一半导体

卓胜微

艾森半导体

达诺尔

恒美光电

杉金光电

联仕新材料

WLCSP

金宏气体

雅克